◆测量薄膜膜厚及其光学性质，包括折射率、消光系数、吸收系数、复介电函数等
◆测定材料的多层结构和表面粗糙度
◆无损地研究与气态、液态周围媒质接触的表面分子或原子的物理、化学吸附状态
◆研究处于各种不同环境中的半导体及金属表面的氧化问题
◆可现场深入地研究电极-电解液界面过程，并可和其它常规电化学测量方法同步进行
◆研究血凝过程、薄膜抗原-抗体的免疫反应、电吸附免疫试验和细胞表面的材料测定等
◆研究固体的辐射探伤，表征介电材料和半导体材料制备过程中造成的表面机械损伤

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